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    Fan-out 固晶 NUCLEUS 系列 ASMPT

    2024-03-18
    62次
    Fan-out 固晶 NUCLEUS 系列 ASMPT

    詳細介紹

    ASMPT NUCLEUS 系列固晶機

    全效高精度取放系統

    尺寸寬 x 深 x 高
    1,460 x 2,300 x 2,100 mm

    特色

    • 晶圓級扇出工藝及嵌入式封裝的先驅

      • 支持覆晶及直接固晶模式,并可執行局部對準及整體對準

    • 特大基板處理能力

    • 支持特大固晶壓力及熱壓固晶工藝

    • 配置全自動工具轉換系統,實現多晶固晶工藝

    • 固晶制程符合潔凈度 100 級的要求

    其他配置

    • NUCLEUS XD: 70mm x 70mm 超大芯片處理能力

    • NUCLEUS XLplus: 600mm x 670mm 超大基板處理能力


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